202x 年 6 月 9 日，上海浦东，H 公司星光部门新建的无尘车间内，空气中弥漫着精密仪器运转的低鸣和消毒水的气味。我站在产线中央，身着白色无尘服，头盔面罩映出四周忙碌的身影。这一天，注定要被载入中国半导体史册——第一台国产浸润式 DUV 光刻机正式搬入产线，开始联调测试。
车间内，两条产线并排而立。左边是我们倾注无数心血的国产线，核心设备是这台尚带着新漆光泽的 DUV 光刻机；右边则是对照组，一条几乎一模一样的产线，唯一的区别是光刻机换成了从荷兰空运而来的 TWINSCAN NXT:1980Di。
这台 ASML 设备是我们的老师，也是我们的对手。它的存在，既是标杆，也是压力——我们必须证明，国产设备能达到同样的精度、良率和效率。
张工，测试片准备好了，随时可以开始同事小李的声音从对讲机中传来，带着一丝掩不住的兴奋。我点点头，目光扫过控制台上的参数显示屏。浸润式光刻机的水循环
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